第3章 接触电阻、肖特基势垒及电迁移
3.1 简介
所有半导体器件都包括接触,所有接触都存在接触电阻,表征这些接触电阳.十分重要。一般来说,接触可能是金属-半导体接触,但也可能是半导体-半导体接触,这两种半导体材料可能是单晶、多晶或非晶材料。在欧姆接触和接触电阻概念性的讨论中,金属-半导体接触是*常见的接触,因此本章主要关注金属-半导体接触。
在关于测量技术的讨论中,接触类型不重要,重要的是接触材料的电阻。1874年由Braun发现的金属-半导体接触成为*初半导体器件的基础之一。在没有完全理解的情况下,这种器件应用了很长一段时间。在20世纪30年代,肖特基(Schottky)提出了**个可接受的理论来解释这种器件。为了表示对肖特基的敬意,金属-半导体器件经常被称为肖特基势垒器件。通常,这个名字意味着这些器件作为整流器来用时,具有明显的非线性电流-电压特性。
欧姆接触具有线性或准线性电流-电压特性,它不一定是线性的。欧姆接触必须能够提供必要的器件电流,并且与器件有源区上的电压降相比,接触上的电压降小。在很大的范围内欧姆接触不应使器件退化,并且不会注入少数载流子。除此之外,欧姆接触的制作应是可重复的。
一本以欧姆接触为主题的会议论文集**次对欧姆接触进行了深入的讨论。Rideout在金属-半导体接触理论的报告中强调了欧姆接触,Yoder,Braslauc和Piotrowska等总结了Ⅲ~V族器件的欧姆接触,Schroder和Meier讨论了太阳能电池的欧姆接触。Yu和Cohen已经总结了接触电阻。在Milnes和Feucht,Sharma和Purohit,Rhoderick的书中可以找到其他相关的信息。Cohen和Gildenblat给出了很好的讨论。
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