本书是美国麻省理工学院（MIT）Senturia 教授根据自己在MIT电子工程系所讲授的课程的基础上进行扩展而编写的研究生教材，已经被美国10多所大学采用（包括斯坦福等**大学）。本书系统全面地介绍了涉及微机电系统（MEMS）设计的方法、理论和技术，包括MEMS制作工艺和封装技术、MEMS器件的建模和模拟、相关电子线路与系统。全书详细地介绍了利用集总参数方法、弹性力学和结构力学方法、能量分析法对MEMS器件进行建模、模拟和分析的方法；同时对微系统设计所涉及的能量耗散问题和流体力学系统、电路、噪声和封装问题等进行了分析和介绍。通过应用实例研究，详细介绍了压阻式压力传感器、电容式加速度计、静电投影显示器、压电速率陀螺仪、DNA扩增芯片和气体传感器等器件和系统的设计和制作。
全书结构新颖、特点鲜明、内容丰富，能满足来自不同专业面向MEMS研究领域的研究生的需要。同时，对于相关领域的科研、工程技术人员和教师来说，也不失为一本很有价值的参考书。

**部分 基础知识
第1章 引言
第2章 MEMS设计方法
第3章 微制造技术
第4章 工艺集成
第二部分 建模策略
第5章 集总参数建模
第6章 能量守恒换能器
第7章 动力学
第三部分 特定领域的细节
第8章 弹性力学
第9章 结构
第10章 能量法
第11章 耗散系统和热能域
第12章 集总建模和耗散过程
第13章 流体
第四部分 电路与系统问题
第14章 电子学
第15章 反馈系统
第16章 噪声
第五部分 实例研究
第17章 封装
第18章 压阻式压力传感器
第19章 电容式加速度计
第20章 静电投影显示器
第21章 压电速率陀螺仪
第22章 用于DNA扩增的微系统
第23章 微桥气体传感器
附录A 参数符号表
附录B 电磁场
附录C 立方材料的弹性常数
参考文献

本书将多学科的基础知识有机联系起来，带领大家进入微系统设计世界。这些知识是工作在MEMS领域的工程师所必不可少的。
全书涉及的主题范围广泛，包括：微加工技术、机械学、热流理论、电子学、噪声、带反馈或不带反馈的系统动力学等。因为很难简要地阐明“优良”设计的基本原理，本书以提供一组实例研究的方式进行组织，这些实例研究或者基于真实的产品，或者基于已发表在文献中的产品原型。
实例研究的选择范围是那些具有多方面代表性的范例：不同的加工制作方法，不同的应用领域，在换能方式上运用不同的物理效应。实例研究的主要对象是下列器件的设计与封装：压阻式压力传感器、电容式加速度计、利用石项压电驱动与感测的陀螺仪、两种静电致动光投影显示器、两种DNA扩增微系统以及一种用于可烯气体测量的催化传感器。
本书是麻省理工学院研究生课程“微机电系统设计与制作”的教材，适合高年级本科生和研究生学习MEMS使用，也可作为MEMS专业人士的参考书。
**章都含有家庭作业和相关阅读文献作为教材的补充。本书还有一个专门的Web网站对其提供支持，其上放有更多的家庭作业、练习和一些**的设计习题，以及一些有关本书例题、家庭作业习题方面的教学资料。