硅微机械加工技术

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9787502592585 / (法)M.埃尔温斯波克 (捷)H.扬森 / 化学工业出版社 / 2007年05月 / 348页 / 约重0.500KG

简介：英国剑桥大学出版社出版的《Silicon Micromachining》是一本关于微 系统加工工艺方面的专著,作者M.Elwenspoek和H.Jansen等人从事过多年微 系统加工工艺方面的研究工作……