纳米科学技术是近年来飞跃发展的一门新兴科学，本书全面系统地阐述了纳米科学技术及应用，主要内容包括：扫描探针式显微镜；纳米材料；纳米级精密测量技术；纳米级超精密加工；纳米级表层物理力学性能检测和纳米摩擦学；纳米电子学；微机械和微机电系统及其制造技术。本书内容丰富，不仅系统地讲述了纳米科学技术的基础原理和技术，同时还介绍了纳米科技的*新发展和成就。
本书可作为相关专业科研人员的重要参考书，也可作为机械类专业研究生和本科生的教材。

第 1章 纳米科学技术概述 1
1．1 纳米科学技术的特点 2
1．2 纳米科学技术的发展 2
1．3 发展纳米科学技术的理论基础 7
1．4 发展纳米科技的重要性和各国纳米科技的发展情况 12
复习思考题 26
参考文献 26
第 2章 探针式显微镜 28
2．1 探针式显微镜发明前微观表面形貌检测技术的发展 29
2．2 扫描隧道显微镜 37
2．3 原子力显微镜 57
2．4 其他扫描探针显微镜 82
2．5 光子扫描隧道显微镜和近场光学扫描显微镜 84
复习思考题 87
参考文献 87
第3章 纳米材料 90
3．1 纳米材料的发展与纳米材料定义 91
3．2 纳米颗粒(微粉)材料 93
3．3 纳米微粒材料(零维纳米材料)的制造技术 106
3．4 纳米薄膜材料 118
3．5 纳米块体材料 123
3．6 原��团簇 131
3．7 碳纳米管 137
3．8 纳米复合材料 161
复习思考题 167
参考文献 167
第4章 纳米级精密测量技术 169
4．1 纳米级的尺寸精度和位移的测量方法 170
4．2 纳米级精度的多维尺寸测量 175
4．3 纳米级表面形貌和粗糙度的测量 177
4．4 超精密测量的环境条件 182
4．5 提高三维测量系统测量精度需注意的问题 186
复习思考题 190
参考文献 190
第5章 纳米级超精密加工和原子操纵技术 191
5．1 纳米级加工的物理实质和特点 192
5．2 超精密机械加工技术 194
5．3 纳米切削的分子动力学模拟 199
5．4 三束加工技术 203
5．5 原子与近原子尺度制造 212
5．6 碳纳米管互连技术 228
5．7 原子操纵技术的发展和操纵机理的探析 238
复习思考题 240
参考文献 241
第6章 纳米级表层物理力学性能检测和纳米摩擦学 244
6．1 纳米级表层物理力学性能的显微力学探针检测法 245
6．2 材料极薄表层物理力学性能的实际检测 251
6．3 纳米摩擦学的提出 259
6．4 纳米摩擦学研究使用的实验测试仪器 261
6．5 纳米级摩擦副材料和摩擦表面形态 267
6．6 边界润滑与分子膜 272
6．7 薄膜润滑 283
6．8 平滑界面的微摩擦形态 291
6．9 纳米摩擦学的分子动力学模拟 303
复习思考题 305
参考文献 305
第7章 纳米电子学 307
7．1 概述 308
7．2 从微电子技术到纳米电子技术的发展 309
7．3 量子电子器件的主要特征 316
7．4 量子电系统的基础元件 322
7．5 纳米级单电子晶体管 324
7．6 分子电子学和分子电子器件 330
7．7 原子电子器件 340
7．8 纳米电子器件的集成和量子计算机 344
7．9 三代电子器件的比较和纳米电子集成电路的探索 351
7．10 二维半导体材料纳米器件 354
复习思考题 365
参考文献 365
第8章 微机械和微机电系统 366
8．1 微机械和微机电系统的提出 367
8．2 微机械和微机电系统的理论基础 369
8．3 微机械常用的材料 377
8．4 微机械和微机电系统的技术基础 383
8．5 微传感器 393
8．6 微致动器 408
8．7 微型机器人 417
8．8 微型惯性仪表 424
8．9 微飞行器 438
8．10 微型卫星 454
复习思考题 463
参考文献 464
第9章 微机械和微机电系统的制造 466
9．1 微机械与微机电系统的制造技术简介 467
9．2 集成电路的制造过程简介 470
9．3 微机械器件的薄膜制造技术 474
9．4 光刻工艺中的曝光技术 478
9．5 光刻工艺中的刻蚀技术和立体光刻技术 490
9．6 LIGA技术 497
9．7 牺牲层工艺技术 508
9．8 微器件基板的键合技术 512
9．9 精密微机械加工和特种加工等在微机电系统制造中的应用 520
复习思考题 534
参考文献 535
附录 537
附录1 中国纳米科技至2050年的发展目标和可能取得的重要突破 537
附录2 中国至2050年纳米科技发展路线图 542
名词索引