本书以半导体制造系统调度为研究对象，在全面分析半导体制造系统调度特点的基础上，对半导体制造系统调度中存在的问题进行了详细地解剖、分析，并对各个问题的求解方法进行了详细介绍，*后通过实例介绍了各调度问题解决方案的实际使用方法。本书在认真总结国内外20年来的半导体制造系统调度研究成果的基础上，结合作者多年在制造系统调度，特别是半导体制造系统调度领域的研究与应用成果，对复杂的半导体制造系统调度问题从理论到方法再到应用进行了全方位、系统化的论述。
本书可供从事半导体制造系统计划、调度和优化等相关领域研究工作的科研人员，自动控制、工业工程等专业研究生和教师，制造管理及微电子制造行业生产管理或工程技术人员等阅读、参考。

第1篇 基础篇
第1章 概述
1.1 制造系统自动化
1.2 制造系统中的计划、调度与控制
1.3 制造系统的调度问题
1.4 半导体制造系统的调度问题
第2章 半导体制造系统及其调度
2.1 半导体制造产业的战略意义
2.2 半导体制造工艺简介
2.3 半导体制造系统的高度复杂性
2.4 半导体制造系统的性能指标
2.5 半导体制造系统调度
2.6 半导体制造系统调度分类
第3章 半导体制造系统调度的建模方法
3.1 概述
3.2 传统建模方法
3.3 Petri网模型
3.4 预测模型
3.5 群体智能模型
3.6 基于Agent的半导体制造系统集成调度模型
第4章 半导体制造系统调度方法
4.1 运筹学
4.2 启发式规则
4.3 人工智能方法
4.4 计算智能
4.5 群体智能
第2篇 方法篇
第5章 半导体制造系统中的投料控制
5.1 概述
5.2 粗日投料策略
5.3 细日投料策略
第6章 半导体制造系统中的工件调度
6.1 概述
6.2 基于数学规划的工件调度
6.3 基于启发式规则的工件调度
6.4 基于人工智能的工件调度
6.5 基于遗传算法的工件调度
第7章 半导体制造系统中的批加工设备调度
7.1 概述
7.2 单台批加工设备调度
7.3 并行批加工设备调度
7.4 带有批加工设备的半导体生产线动态调度
第8章 半导体制造系统中的设备维护调度
8.1 概述
8.2 半导体制造过程设备维护调度策略的分类
8.3 基于系统仿真的设备维护调度
8.4 基于数学规划的设备维护调度
8.5 基于模糊逻辑的设备维护调度
第9章 半导体制造系统中的重调度
9.1 概述
9.2 重调度体系结构
9.3 重调度因素
9.4 重调度策略
9.5 重调度方法
9.6 重调度性能评价
第3篇 应用篇
第10章 基于HP24模型的调度算法实现与分析
10.1 HP24模型介绍
10.2 仿真模型实现
10.3 投料及调度算法的仿真实现
10.4 仿真运行结果分析与比较
第11章 基于MiniFab模型的批加工设备调度算法实现与分析
11.1 概述
11.2 模型介绍
11.3 批加工设备调度算法仿真实现
第12章 基于SIMUL8的半导体生产线调度系统设计与实现
12.1 半导体生产线描述
12.2 开发半导体生产线调度与仿真系统TB—PSS的总体思路
12.3 硅片加工生产线建模解决方案简介
12.4 TB—PSS调度算法库的解决方案
12.5 TB—PSS系统功能与业务流程
附录
附录A 仿真建模技术与仿真建模软件SIMUL8简介
附录B 专业词语汇总表