本书全面地介绍了该行业中对于生产环境中空气污染控制要求的升级转变,气态分子污染物(AMC)的相关控制规范和要求,以及常见的洁净厂房AMC控制方法和系统设备。在介绍基础知识及相关理论的基础上,结合工程示范的实测数据分析,使读者能够更加真实地了解目前洁净室AMC控制的现状。当下,恰逢我国大力推动集成电路行业发展,大量电子洁净厂房兴建,本书出版也恰逢其时,对业内人员更具实际参考价值。

第1章 绪论 1.1 背景 1.2 气态分子污染物及其分类 1.3 气态分子污染物的来源 1.3.1 外部来源 1.3.2 内部来源 1.3.3 按AMC分类的来源 1.3.4 按散发源分类的来源 参考文献 第2章 气态分子污染物的影响 2.1 AMC对制程的影响 2.2 各类AMC的影响 2.2.1 酸性分子污染物 2.2.2 碱性分子污染物 2.2.3 可凝结分子污染物 2.2.4 掺杂污染物 参考文献 第3章 电子洁净室气态分子污染环境控制标准及检测方法 3.1 电子洁净室环境控制标准发展历史 3.2 电子洁净室AMC相关规范简介 3.2.1 国际标准化组织ISO 14644 3.2.2 日本工业标准委员会JIS B9917 3.2.3 国际半导体设备与材料协会SEMI标准 3.2.4 中国**标准GB/T 25915和GB/T 36306 3.2.5 国际器件与系统蓝图标准 3.3 气态分子污染相关标结与对比 3.3.1 不同**和地区的洁净室控制规范 3.2.2 不同机构组织的洁净室控制规范 3.3.3 建筑环境与洁净室环境控制规范 3.3.4 大气环境与洁净室环境控制规范 3.3.5 对比讨论 3.4 洁净室AMC:检测及监测方法 3.4.1 酸性气态分子污染物检测 3.4.2 碱性气态分子污染物检测 3.4.3 可凝结气态分子污染物检测 3.4.4 掺杂污染物检测 3.5 洁净室AMC检测实际案例 3.5.1 测试背景 3.5.2 测试方法 3.5.3 测试结果 参考文献 第4章 吸附净化技术 4.1 吸附技术 4.1.1 物理吸附 4.1.2 化学吸附 4.1.3 去除效率与吸附容量(容污量) 4.2 吸附理论 4.2.1 吸附等温线分类 4.2.2 常见吸附等温线模型 4.2.3 吸附动力学 4.2.4 吸附穿透曲线 4.2.5 吸附带理论 4.2.6 吸附床压降模型 参考文献 第5章 气体污染物净化材料 5.1 物理吸附材料 5.1.1 活性炭 5.1.2 活性氧化铝 5.1.3 硅胶 5.1.4 沸石分子筛 5.1.5 金属有机框架材料 5.2 化学吸附材料 5.2.1 浸渍活性炭和氧化铝 5.2.2 离子交换树脂 5.3 吸附净化材料的选择及影响因素 5.3.1 吸附净化材料的选择 5.3.2 吸附净化材料性能的主要影响因素 5.4 气体污染物净化材料形式 5.4.1 珠状活性炭 5.4.2 负载无纺布 5.4.3 挤压型炭复合结构 5.4.4 黏结滤材面板 参考文献 第6章 气态分子污染控制系统及设备 6.1 电子洁净室环境控制系统 6.1.1 大厅式洁净室及局部微环境系统 6.1.2 走道隔间式洁净室系统 6.2 使用化学过滤器的气态分子污染物控制系统 6.2.1 新风处理机组(MAU)结合化学过滤器 6.2.2 回风处理机组(RAU)结合化学过滤器 6.2.3 风机过滤单元结合化学过滤器 6.3 化学过滤器 6.3.1 化学过滤器滤芯种类 6.3.2 化学过滤器结构形式 6.3.3 化学过滤器运行参数 6.4 空气水洗机 6.4.1 液气比与水雾粒径对去除效率的影响 6.4.2 吸收液水质对去除效率的影响 6.5 洁净室机台晶圆盒的AMC控制 6.5.1 气体吹扫法 6.5.2 真空充填净化 6.6 超纯净空气系统(UPA) 参考文献 第7章 气体净化材料及化学过滤器性能评价 7.1 气体污染物净化材料性能评价方法及指标 7.1.1 气体污染物净化材料性能评价相关标准 7.1.2 气体污染物净化材料性能评价指标及方法 7.1.3 气体污染物净化材料性能测试方法及流程 7.2 典型气体污染物净化材料的性能测试 7.2.1 典型甲苯净化材料的性能 7.2.2 典型SO2净化材料的性能 7.2.3 典型甲醛净化材料的性能 7.3 化学过滤器性能评价方法及指标 7.3.1 化学过滤器性能评价相关标准 7.3.2 化学过滤器性能评价指标及计算方法 7.3.3 化学过滤器测试流程及测试系统 7.4 典型化学过滤器甲苯净化性能测试 7.5 测试参数对净化材料或装置性能的影响 7.5.1 气体种类 7.5.2 测试浓度 7.5.3 温湿度 7.5.4 风速 7.5.5 床层厚度 附表A 附表B 参考文献 附录1 专用名词缩写及简称 附录2 半导体工艺流程简介及相关术语