精密和超精密加工在位检测与误差分离技术(精)

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9787810993982 / 李圣怡 戴一帆 / 国防科技大学出版社

简介：本书重点介绍精密和超精密机床在位检测与误差分离技术，全书分为六章。主要介绍了电容传感器、电感传感器、基于同心圆光栅莫尔条纹图像处理的二自由度误差测量系统和大量程纳米级光栅位移测量系统等四种测量仪器基本……