聚焦离子束微纳加工技术(电子束离子束光子束微纳加工技术系列专著)

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9787563916900 / 顾文琪 马向国 李文萍 / 北京工业大学出版社

简介：离子束加工是利用荷能离子与工件表面发生物理和化学反应，从而实现材料刻蚀、注入、沉积和改性的微米纳米加工技术。离子束加工可分为常规离子束加工和聚焦离子束加工。近年来，随着纳米科技和半导体集成电路产业的飞……