微电子制造科学原理与工程技术(第二版)

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9787505383135 / (美)坎贝尔 曾莹 严利人 王纪军 / 电子工业出版社 / 2005年08月 / 611页 / 约重0.930KG

简介：本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术,覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一种单项……