第二章 等离子体合成新材料的基础理论
低温等离子体是由电子、离子、光子、中性粒子及活性基团组成的多粒子系统,具有很强的非平衡性、高活性和载能性。因此,它在大规模集成电路的加工、新材料的制备、高能化学合成、多项介质放电、诱变育种、有害气体处理等高新科技领域得到了广泛的应用。本章主要论述等离子体合成新材料的基础理论与可行性。
2.1 等离子体状态
2.1.1 等离子体
在不含大量热量的密集粒子体系中,物质的状态比较稳定,电子、离子、自由基等自身不稳定的粒子由于电性中和及化学健的作用构成原子或分子,表现出静的物质状态。如果给物质施加高温或者通过加速电子或加速离子等给物质加上能量,此时,中性的物质就将被离解成电子、离子、自由基,不断地从外部施加能量,物质就被离解成阴、阳荷电粒子的状态,称为等离子体。将物质的状态按从低能到高能的顺序可以排列为固体、液体、气体、等离子体,而等离子体具有导电和受电磁影响的性质,它的行为在很多方面不同于固体、液体和气体,因此也被称为“物质的第四态”。
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