本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展历史和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景，同时详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和技术指标，电子光学柱、精密工件台等分部件和掩模版制作、电子束直刻等关键技术。全书共分10章，**章为电子束曝光技术概论；第二章为电子束曝光机中的电子光学系统；第三章为工件台及激光干涉仪精密定位；第四章为图形发生器；第五章为检测、对准和校正技术；第六章为电子束曝光机的计算机控制技术和数据转换；第七章为电子束曝光制图艺；第八章为真空控制系统；第九章为国内外几种束曝光机的介绍；第十章为电子束曝光技术的应用和发展前景。
本书可作为微电子专业领域的科技人员和从事微电子、微光学、微机械等微纳加工技术领域的科技人员的技术参考书，财同时还可作为高等院校专业教师、研究生的参考用书。

前言
**章 电子束曝光技术概论
**节 微纳加工与曝光技术
第二节 电子束曝光技术的发展历史及原理
第三节 不同类型的电子束曝光系统
参考文献
第二章 电子束曝光机中的电子光学系统
**节 概述
第二节 电子光学基础
第三节 电子束曝光机的透镜
第四节 电子束曝光机的电子枪
第五节 电子光住的对中系统
第六节 电子束曝光机的偏转扫描系统
第七节 束闸及其控制
第八节 电子光学系统的像差
第九节 电子束曝光机聚焦成像和偏转系统的设计计算
参考文献
第三章 工件台及激光干涉仪精密定位
**节 精密工件台技术的发展概况
第二节 激光干涉仪测量系统
第三节 双频激光干涉仪产品介绍
第四节 测量误差分析及激光干涉仪的安装与调整
第五节 精密工件台
第六节 微动工件台
第七节 自动输片系统
第八节 工件台的驱动与控制
参考文献
第四章 图形发生器；第五章为检测、对准和校正技术
**节 扫描圆形电子束曝光机的图形发生器
第二节 可变矩形电子束曝光机的图形发生器
第三节 光栅扫描电子束曝光机的图形发生器
第四节 以DSP为基础的新型图形发生器
第五节 图形发生器的执行部件
参考文献
第六章 电子束曝光机的计算机控制技术和数据转换
**节 检测、对准和校正技术的意义和作用
第二节 电子与固体的相互作用
第三节 电子束曝光机常用的几种信号及检测器
第四节 检测对准校正原理及方法
第五节 影响电子束曝光机精度的因素及分析方法
参考文献
第七章 电子束曝光制图艺
……
第八章 真空控制系统
第九章 国内外几种束曝光机的介绍
第十章 电子束曝光技术的应用和发展前景。