针对微传感器技术发展速度快，一些理论、方法及实现技术尚未成熟的特点，本书紧密结合微传感器的1新发展动态，对热、辐射、机械、磁、化学量微传感器的基本理论及实现技术进行分类阐述，同时介绍了微传感器系统及其数据获取与处理方面的知识，旨在为读者提供一本微传感器方面的入门读物。帮助读者在掌握微传感器基础知识的同时，建立微传感器设计、研究、制作及实验分析等方面的基本概念。做到面对具体的微传感器问题时，能查到专业文献、能读懂文献内容、能自行设计实验、能对实验结果进行分析总结。同时顺应微传感器发展潮流，引入更多微机电系统的新兴应用，让读者对微传感器有一个更全面的认识。
本书所涉及的微传感器，是指那些至少有一个物理尺寸在亚毫米量级的传感器。全书共分10章： 引言、微传感器与信号、微传感器的常用材料及加工工艺、热学量微传感器、辐射量微传感器、机械量微传感器、磁微传感器、化学量微传感器常用技术、化学量微传感器、微传感器的数据获取。
本书可供高等工科院校微机电系统、测控技术与仪器、自动化工程、机电一体化及仪器仪表等专业师生使用，也可供从事仪器相关专业的研究、设计、制造、使用的工程技术人员学习和参考。

第1章引言1
1.1微电子与微传感器1
1.1.1微电子与微器件1
1.1.2微传感器4
1.1.3微机电系统5
1.1.4微器件的相关理论与技术7
1.2微传感器与测量系统10
1.2.1测量系统10
1.2.2微传感器的分类12
1.2.3微传感器系统14
1.3本书内容的学习20
1.3.1专业文献的查找20
1.3.2专业文献的阅读22
1.3.3数据的总结与表达25
**阅读29
练习与思考29第2章微传感器与信号31
2.1微传感器的理想特性及实用中的局限性31
2.1.1微传感器的误差31
2.1.2微传感器的静态特性33
2.1.3微传感器的动态特性38
2.2微传感器的标定41
2.2.1微传感器标定的基本概念41
2.2.2精度、精密度、误差、不确定度42
2.2.3微传感器的标定与数据处理44
2.2.4微传感器标定实验的设计46目录微型传感器（第2版） 2.3微传感器信号的数据获取47
2.3.1微传感器的信号调理48
2.3.2接口与数域49
2.3.3电阻的检测50
2.3.4电容的检测56
**阅读64
练习与思考64第3章微传感器的常用材料及加工工艺66
3.1材料的基本知识66
3.1.1材料的基本物理特性66
3.1.2导体、半导体和电介质材料68
3.1.3MEMS常用材料71
3.2微传感器的常用材料73
3.2.1半导体敏感材料73
3.2.2敏感陶瓷材料74
3.2.3高分子敏感材料80
3.2.4磁性材料86
3.2.5微传感器的封装88
3.3常用的微加工技术90
3.3.1硅的刻蚀技术90
3.3.2表面膜的加工工艺94
3.3.3硅的平面微加工工艺101
3.3.4三维结构的微加工工艺102
**阅读105
练习与思考105第4章热学量微传感器106
4.1基本知识及定义106
4.1.1基本的热学量106
4.1.2温度及其标定108
4.1.3热学量微传感器的分类111
4.2热电偶112
4.2.1热电效应112
4.2.2热电偶的材料及其制作113
4.3热电阻117
4.3.1金属热电阻118
4.3.2半导体热敏电阻119
4.4热敏二极管和热敏三极管121
4.4.1热敏二极管122
4.4.2热敏三极管123
4.5其他形式的热学量传感器124
4.5.1石英体声波温度传感器124
4.5.2声表面波温度传感器127
4.5.3光纤温度传感器129
**阅读131
练习与思考132第5章辐射量微传感器133
5.1辐射量微传感器的基本概念与定义133
5.1.1核辐射与电磁辐射133
5.1.2辐射的计量参数134
5.1.3辐射量微传感器的分类137
5.2核辐射微传感器137
5.2.1核辐射的类型及其计量138
5.2.2闪烁探测器140
5.2.3固态探测器142
5.3紫外光、可见光与近红外光微传感器144
5.3.1电导型光敏微传感器144
5.3.2光电型光敏微传感器148
5.4红外辐射微传感器154
5.4.1红外辐射的基本知识154
5.4.2红外光敏微传感器155
5.4.3红外热敏微传感器158
5.4.4MEMS红外传感器的应用161
5.5微波微传感器162
**阅读162
练习与思考162第6章机械量微传感器164
6.1机械量的测量164
6.1.1常见机械量及机械量微传感器164
6.1.2微机械元件166
6.1.3微机械谐振器170
6.1.4谐振式微传感器176
6.2压力微传感器180
6.2.1压力测量的基本概念181
6.2.2压阻式压力微传感器182
6.2.3电容式压力微传感器187
6.2.4硅谐振式压力微传感器191
6.3加速度微传感器194
6.3.1加速度微传感器的基本概念194
6.3.2压阻式加速度微传感器197
6.3.3电容式加速度微传感器200
6.3.4谐振式加速度微传感器204
6.4流量微传感器208
6.4.1机械式流量微传感器209
6.4.2热式流量微传感器210
**阅读211
练习与思考211第7章磁微传感器213
7.1磁微传感器的基本知识213
7.1.1磁场的描述213
7.1.2微传感器中的磁效应214
7.2霍尔传感器216
7.2.1霍尔效应216
7.2.2基于霍尔效应的微传感器217
7.2.3霍尔传感器的检测电路220
7.3磁阻效应与磁敏电阻223
7.3.1磁阻效应223
7.3.2各向异性磁敏电阻224
7.3.3巨磁阻微传感器226
7.4磁敏二极管及磁敏三极管228
7.5磁微传感器的典型应用230
**阅读236
练习与思考236第8章化学量微传感器常用技术238
8.1电化学检测技术238
8.1.1电极电位与电极过程238
8.1.2电化学分析方法247
8.1.3离子选择电极253
8.2石英晶体微天平259
8.2.1石英晶体谐振器259
8.2.2石英晶体谐振器对表面负载的敏感特性262
8.2.3石英晶体微天平在化学量检测方面的应用264
8.3表面等离子体谐振检测技术268
8.4主元分析方法272
8.4.1多元数据分析中的特征提取272
8.4.2主元分析原理274
8.4.3主元分析实例276
**阅读279
练习与思考280第9章化学量微传感器283
9.1化学量微传感器的基本概念283
9.1.1化学量微传感器的基本原理283
9.1.2化学量微传感器的分类285
9.1.3MEMS化学量传感器287
9.2气体微传感器289
9.2.1气体的检测与气体微传感器289
9.2.2电化学气体微传感器293
9.2.3半导体气体微传感器295
9.2.4湿度敏感元件299
9.2.5基于MEMS技术的气体微传感器303
9.3生物微传感器305
9.3.1生物微传感器概述305
9.3.2生物微传感器的特性308
9.3.3分子识别与生物探针311
9.3.4生物探针的固定315
9.3.5电化学生物微传感器319
9.3.6热量型生物微传感器323
9.3.7声表面波生物微传感器325
9.3.8悬臂梁式生物微传感器328
9.3.9基于MOSFET器件的生物微传感器331
**阅读334
练习与思考335第10章微传感器的数据获取336
10.1准数字传感器336
10.1.1传感器输出信号的类型及其离散化337
10.1.2准数字传感器中的参数转换339
10.1.3几种准数字微传感器340
10.2时间调制信号的数字编码转换344
10.2.1频率测量法344
10.2.2周期测量法347
10.2.3混合测量方法348
10.2.4基于傅里叶变换的频率编码转换350
10.2.5相位编码转换352
10.3微传感器系统的数据获取技术353
10.3.1数据获取系统的基本概念353
10.3.2灵巧传感器的结构及数据获取355
10.3.3多通道数据获取系统的主要误差357
10.4微传感器数据获取系统的软硬件协同设计358
10.4.1数据获取系统的构成及虚拟仪器358
10.4.2数据获取系统的软硬件协同设计361
**阅读365
练习与思考365参考文献367