**章 晶全及其能带结构
**节 空间点陈和晶体结构
第二节 晶体的能带结构
第三节 晶体的物理常数及其坐标变换
参考文献
第二章 压力传感器的基本原理
**节 单晶硅的压阻效应
第二节 扩散硅的压阻效应
第三节 多晶硅的压阻效应
附录 任意晶向压阻系数的计算
参考文献
第三章 压力传感器中承压弹性膜的应力计算
**节 弹性力学基础
第二节 承压弹性薄膜的应力分析
第三节 压力传感器弹性膜二维有限元法的应力计算
第四节 压力传感器三维有限无法应力计算简介
参考文献
第四章 压力传感器芯片版图设计
**节 合理利用压阻系数
第二节 力敏电阻条的设计
第三节 二极管与三极管的设计
第四节 失效与可靠性问题
参考文献
第五章 压力传感器的衬底制备
**节 硅单晶片抛光的基本原理
第二节 衬底片的清洗
第三节 外延工艺原理
第四节 硅—硅键合工艺原理
参考文献
第六章 压力传感器的管芯制备
**节 氧化膜的制备
第二节 扩散工艺原理
第三节 光刻工艺原理
参考文献
第七章 硅���力传感器的微机械加工
第八章 压力传感器的封装
第九章 压力传感器的引线
第十章 压力传感器的技术性能与选用
第十一章 压力传感器的热漂移及其补偿技术
第十二章 压力伟感器的信号调理
第十三章 压力付感器的智能化技术
第十四章 其他种类压力传感器
第十五章 压力传感器的应用
附录